株式会社 YGKは 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

ＹＰＩ−ＭＸ−ＴＦ

テープフレーム上　８インチ、１２インチウェハ表面検査装置

高性能ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
ＴＦ上ウェハの表面検査が可能。
ＴＦ専用FOUPポートポートから自動搬送が可能。

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ＹＰＩ−ＭＸ−ＦＯＵＰ

φ300mmウェーハ表面異物検査装置

高性能ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
YPI-MX/YPI-MX-DCの性能で、FOUP自動搬送が可能。
ＧＥＭオンラインＥ８４オプションを追加可能。

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ＹＰＩ−ＭＸ−ＳＭＩＦ

ＳｉＣ／ＧａＮ関連・Ｓｉ／透明／ＬＴウェーハ表面異物検査装置

高性能ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
ＹＰＩーＭＸーDCの性能で、ＳＭＩＦ自動搬送が可能。
ＧＥＭオンラインＥ８４オプションを追加可能。

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ＹＰＩ−ＭＸ−Θ　ＤＣ

【新開発】
ＳｉＣ／ＧａＮ関連 ウェハ表面検査装置
ＳｉＣ 表面パーティクルスキャナ デュアルヘッド搭載［YPI-MX-θ DC］

ＳｉＣに限らず透明ガラスウェーハ、シリコンウェーハ、ＬＴウェーハの
測定も可能。最小検出粒径　０.１μｍ。
４インチＳｉＣウェーハを潜傷検出測定も含めて５分以内に測定。

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ＬＴウェーハ測定結果例

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ＹＰＩ−ＭＮ

小型・高機能 ウェーハ表面検査装置
表面パーティクルスキャナ［YPI-MN］

透明ガラス基板　０.３μｍ測定可能。
Siウェーハ　　　０.１５μｍ測定可能。
測定可能サイズ　２００ｍｍまで可能（※条件あり）

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Wafer Surface Scanner　　　

ミニマルハーフインチウェーハ 表面パーティクル検査装置

Siウェーハ　　　０.１μｍ測定可能。

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