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ミニマルハーフインチウェーハ 表面パーティクル検査装置。
ミニマル規格ハーフインチウェーハの表面異物（パーティクル）を高速にスキャンし、タッチパネルディスプレイにリアルタイムに表示。

表示／搬送動作はミニマル仕様に準拠した動作で検査。
簡単操作で素早くウェーハのパーティクル状態を把握することが可能。

装置仕様

スキャン方式

螺旋スキャン

ワーク設置

ミニマル規格 自動搬送

消費電力

ＡＣ１００Ｖ／最大１０Ａ

最小検出粒径

０.１μｍ

再現性

σ／Ｘ≦１０％

測定時間

搬送含めて１分以内（測定再現性 90%以上）

検査対象基板

Ｓｉウェーハ等