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〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

Wafer Surface Scannerミニマルハーフインチウェーハ 表面パーティクル検査装置





ミニマルハーフインチウェーハ 表面パーティクル検査装置。
ミニマル規格ハーフインチウェーハの表面異物(パーティクル)を高速にスキャンし、タッチパネルディスプレイにリアルタイムに表示。
表示/搬送動作はミニマル仕様に準拠した動作で検査。
簡単操作で素早くウェーハのパーティクル状態を把握することが可能。

 


最小検出粒径 0.1μm。

測定結果例


   


装置仕様

スキャン方式
螺旋スキャン
ワーク設置
ミニマル規格 自動搬送
消費電力
AC100V/最大10A
最小検出粒径
0.1μm
再現性
σ/X≦10%
測定時間
搬送含めて1分以内(測定再現性 90%以上)
検査対象基板
Siウェーハ等







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