ＹＰＩ−ＭＸ−ＳＭＩＦSiC/GaN関連・Si/透明/LTウェーハ表面異物検査装置
- 高機能 ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
YPI-MX-DCの性能で、SMIF自動搬送が可能。
GEMオンラインE84オプションを追加可能。
装置仕様
- ワークサイズ
- φ２００ｍｍ(φ300mm測定対応可能)
- 最小検出粒径
- ０.１μｍ
- 使用レーザー・検出ユニット
- ４０５ｎｍ(青色レーザー)及びフォトマル(ＰＭＴ)
- スキャン方式
- 螺旋スキャン
- ワーク供給方法
- 自動搬送
- 装置サイズ(幅×奥行×高さ)
- Ｗ１,５３０×Ｄ１,３００×Ｈ１,９０３(ｍｍ) パトライト別
- 装置重量
- 約１,０００ｋｇ
- 電源
- ＡＣ１００Ｖ ２０Ａ
バナースペース
株式会社 YGK
〒400-0311
山梨県南アルプス市曲輪田595-2
TEL 055-284-6866
FAX 055-284-6867