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株式会社 山梨技術工房は 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

TEL. 055-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YPI−MX−SMIFSiC/GaN関連・Si/透明/LTウェーハ表面異物検査装置

高機能 ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
YPI-MX-DCの性能で、SMIF自動搬送が可能。
GEMオンラインE84オプションを追加可能。

装置仕様

ワークサイズ
φ200mm(φ300mm測定対応可能)
最小検出粒径
0.1μm
使用レーザー・検出ユニット
405nm(青色レーザー)及びフォトマル(PMT)
スキャン方式
螺旋スキャン
ワーク供給方法
自動搬送
装置サイズ(幅×奥行×高さ)
W1,530×D1,300×H1,903(mm) パトライト別
装置重量
約1,000kg
電源
AC100V 20A




バナースペース

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