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株式会社 YGKは 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。
株式会社 YGK
TEL.
055-284-6866
〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2
YPI−MX−TF
テープフレーム上ウェーハ表面異物検査装置
テープフレーム上のウェハ(8インチ,12インチ等)が測定可能。
YPI-MX/YPI-MX-DCの性能で、TF専用FOUPから自動搬送が可能。
装置仕様
ワークサイズ
テープフレーム上の8インチ、12インチウェハ
最小検出粒径
0.1μm(Siウェハ)
使用レーザー・検出ユニット
405nm(青色レーザー)及びフォトマル(PMT)
スキャン方式
螺旋スキャン
ワーク供給方法
自動搬送
装置サイズ(幅×奥行×高さ)
W2520×D1807×H1957(mm) パトライト別 ダブルポートの場合の寸法です。シングルポートも対応可能です。
装置重量
約1,500kg
電源
AC200V 20A
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山梨県南アルプス市曲輪田595-2
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FAX 055-284-6867