ＹＰＩ−ＭＸ−TFテープフレーム上ウェーハ表面異物検査装置
- テープフレーム上のウェハ(8ｲﾝﾁ,12ｲﾝﾁ等)が測定可能。
YPI-MX/YPI-MX-DCの性能で、TF専用FOUPから自動搬送が可能。
装置仕様
- ワークサイズ
- テープフレーム上の8インチ、12インチウェハ
- 最小検出粒径
- ０.１μｍ(Siウェハ)
- 使用レーザー・検出ユニット
- ４０５ｎｍ(青色レーザー)及びフォトマル(ＰＭＴ)
- スキャン方式
- 螺旋スキャン
- ワーク供給方法
- 自動搬送
- 装置サイズ(幅×奥行×高さ)
- Ｗ2520×Ｄ1807×H1957(ｍｍ) パトライト別 ダブルポートの場合の寸法です。シングルポートも対応可能です。
- 装置重量
- 約１,5００ｋｇ
- 電源
- ＡＣ２００Ｖ ２０Ａ
バナースペース
株式会社 YGK
〒400-0311
山梨県南アルプス市曲輪田595-2
TEL 055-284-6866
FAX 055-284-6867