株式会社 YGKは 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

小型・高機能 ウェーハ表面検査装置。表面パーティクルスキャナ。
新開発の高機能・省スペースタイプ。
設置面積はＹＰＩ−２００比５０％。
小型省スペースながら最小検出粒径は０.１５μｍの高精度、使用形態に合わせて移動可能な小型表面検査
装置です。
オプション機能として、透明基板対応用表裏分離機能（裏面の影響を排除して表面の測定を実施）を搭載可能。
測定結果は、検出マップ・サイズ別粒子数及びヒスト、異物画像を付属のＰ/Ｃに表示・記録可能です。

装置仕様

ワークサイズ

最大２００×２００ｍｍ、φ２００ｍｍ(φ300mm測定対応可能※１)

最小検出粒径(ベアSi PSL粒子)

Ｓｉウェーハ ０.１５2μｍ
透明ガラス基板０.３μｍ（オプション装備が必要）

使用レーザー・検出ユニット

４０５ｎｍ(青色レーザー)及びフォトマル(ＰＭＴ)

スキャン方式

Ｘ−Ｙ、螺旋スキャン

ワーク供給方法

マニュアル

装置サイズ(幅×奥行×高さ)

Ｗ５４８×Ｄ５７２×Ｈ９６２(ｍｍ)　Ｐ/Ｃ別

装置重量

９０ｋｇ(Ｐ/C除く)

電源

ＡＣ１００Ｖ　１５Ａ

　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ※１　φ３００ｍｍ対応時は、奥行き寸法が変わります。