AOI外观检测设备／基板表面颗粒检测设备／株式会社 山梨技术工房

ＹＰＩ－ＭＸ－Θ　ＤＣ

【新开发产品】
SiC／GaN等晶圆表面颗粒检测设备。
SiC表面颗粒检测设备 双头搭载（两套检测光学系统）【YPI-MX-θ DC】

不仅SiC，还可以对应其他透明基板，硅晶圆，LT基板等。

最小检测粒子0.1μm

4英寸SiC衬底表面上的刮伤，粒子等5分钟之内检测完毕。

Click　⇒

LT基板检测例

---

ＹＰＩ－ＭＮ

高性能、台式基板表面检测设备。
表面颗粒检测设备【YPI-MN】

透明基板的最小检测颗粒为0.3μm。

硅晶圆的最小检测颗粒是0.15μm。

检测基板尺寸： 200mm以内。

Click　⇒

---

ＤＦ／ＷＦ-１００

小型，高性能光学式外观检测设备 【DF/WF-100】

最适合目视检测的自动化。

晶圆、基板的表面缺陷或颗粒的快速检测。

Click　⇒

---

---

ＹＰＩ－ＭＸ 系列（全自动）

玻璃基板表面颗粒检测设备／蓝宝石衬底表面颗粒检测设备
【YPI-MX系列（全自动）】

各种透明素材的专用检测设备，单抛片的透明素材也可以检测。

该设备设有自动聚焦功能， 还有高精度的表离分离功能。

Click　⇒

---

ＹＰＩ－ＭＸ 系列（半自动）

玻璃基板表面颗粒检测设备／蓝宝石衬底表面颗粒检测设备
【YPI-MX系列（半自动）】

各种透明素材的专用检测设备，单抛片的透明素材也可以检测。

该设备设有自动聚焦功能， 还有高精度的表离分离功能。

Click　⇒

---

ＹＰＩ－Ｎ 系列（全自动）

晶圆表面颗粒检测设备【YPI-N系列（全自动）】

镜面基板（硅晶圆等）用表面颗粒检测设备快速检测。

从2英寸至8英寸晶圆的检测对应。

Click　⇒

---

ＹＰＩ－Ｎ 系列（半自动）

晶圆表面颗粒检测设备【YPI-N系列 （半自动）】

镜面基板（硅晶圆等）用表面颗粒检测设备快速检测。

从2英寸至8英寸晶圆的检测对应。.

Click　⇒

---

ＹＰＩ－５００

大型玻璃基板表面颗粒检测设备【YPI-500】

从透明玻璃基板到薄膜等各种大型基板的表面颗粒检测。

基板翘曲解决方案：采用位移计自动聚焦，将基板和检测部的距离保持一定。

Click　⇒

---

ＹＰＩ－２００Ｆ

薄膜表面颗粒检测设备 【YPI-200F】

roll to roll式薄膜专用表面颗粒检测设备。

Click　⇒

---

ＹＰＣ－０３Ｕ

0.3μm以上的颗粒计数器【YPC-03U】

采用不锈钢外壳，适用于无尘室，半导体制造设备，检测设备内的灰尘颗粒管理。

LED使用。

简易操作，瞬时检测。

Click　⇒

---

芯片探针台

全自动芯片探针台。

各种基准点定位。

精密探针检测设备。

Click　⇒

---

上料和下料(load unload)设备

上料设备

将芯片架上的基板传输到生产线上。

---

下料设备

将生产性上的芯片传输到芯片架上。

Click　⇒

---

气溶胶浓度

空气粒子计数器【气溶胶浓度】

气球搭载型粒子计算设备（可以用来检测天气）

每个粒子的气溶胶浓度检测。

Click　⇒

---

除静电负离子机

除静电负离子机

YGK特有的系统检测负离子，控制负离子的输出。

Click　⇒

---