AOI外观检测设备／基板表面颗粒检测设备／株式会社 YGK

ＹＰＩ－ＭＸ－Θ　ＤＣ

【新开发产品】
SiC／GaN等晶圆表面颗粒检测设备。
SiC表面颗粒检测设备 双头搭载（两套检测光学系统）【YPI-MX-θ DC】

不仅SiC，还可以对应其他透明基板，硅晶圆，LT基板等。

最小检测粒子0.1μm

4英寸SiC衬底表面上的刮伤，粒子等5分钟之内检测完毕。

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LT基板检测例

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ＹＰＩ－ＭＮ

高性能、台式基板表面检测设备。
表面颗粒检测设备【YPI-MN】

透明基板的最小检测颗粒为0.3μm。

硅晶圆的最小检测颗粒是0.15μm。

检测基板尺寸： 200mm以内。

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