AOI外观检测设备／基板表面颗粒检测设备／株式会社 山梨技术工房

主题

• 裸硅晶圆等半导体素材表面颗粒检测设备的制造和销售。
• 玻璃基板表面颗粒设备，蓝宝石衬底表面颗粒检测设备， LT晶圆衬底表面颗粒检测设备的制造和销售。
• SiC／GaN等， 晶圆表面颗粒检测设备的制造和销售。
• 薄膜等特殊样品用表面颗粒检测设备的制造和销售。
• 石英上光掩膜的表面颗粒检测设备的制造和销售。
• 该设备一次扫描后，能同时检测表面和背面的颗粒。
• 此外，还有生产设备，检测设备的制造和销售，软件开发，机械设计，回路设计等业务。
• 除静电设备关联，负离子机的制造和销售。（除静电设备负离子机详情。 here）
• 生产设备内的清洁度的确认：粒子计数器的制造和销售。（粒子计数器的详情。 here）

新闻新着情報

2017. 12.18

SEMICON JAPAN 2017·参展。⇒　

2017. 12.1

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