AOI外观检测设备／基板表面颗粒检测设备／株式会社 YGK

新开发的高性能，台式机。 占地面积比是YPI-200的一般。

高性能（最小检测颗粒0.15μm）台式晶圆表面颗粒检测设备。
可 追加选项是， 透明基板的表离分离功能。（减少背面颗粒被当作表面颗粒检测的误判）
（减少背面颗粒被当作表面颗粒检测的误判）

检测结果是，Map和颗粒尺寸分段数量以及histogram。
颗粒状况确认用显微镜也是可以追加选项。

设备规格

检测对象尺寸

标准规格：最大200×200mm, φ200mm
(特殊的φ300mm可以追加※１)

最小检测颗粒
(硅晶圆， PSL粒子)

硅晶圆衬底，透明玻璃基板
(可选项)

使用检测系统：镭射和检测器

405nm 蓝镭射和光电倍增管

扫描方式

XY，和旋转扫描

上料方法

半自动（手动上料）

设备外形尺寸（长×宽×高）

Ｗ５４８×Ｄ５７２×Ｈ９６２(ｍｍ)　PC和设备是分开的

设备重量

约90kg(不包括P/C的重量)

电源

ＡＣ１００Ｖ　１５Ａ

　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ※１　φ300mm的晶圆检测设备，设备的外形尺寸的宽需要加长。