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AOI外观检测设备/基板表面颗粒检测设备/株式会社 山梨技术工房

TEL. +81-55-284-6866

〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YPI-MN 台式高性能晶圆表面颗粒检测设备 晶圆表面颗粒检测设备 

新开发的高性能,台式机。 占地面积比是YPI-200的一般。

高性能(最小检测颗粒0.15μm)台式晶圆表面颗粒检测设备。

追加选项是, 透明基板的表离分离功能。(减少背面颗粒被当作表面颗粒检测的误判)
(减少背面颗粒被当作表面颗粒检测的误判)

检测结果是,
Map和颗粒尺寸分段数量以及histogram
颗粒状况确认用显微镜也是可以追加选项。

设备规格

检测对象尺寸
标准规格:最大200×200mm, φ200mm
(特殊的φ300mm可以追加※1)
最小检测颗粒
(硅晶圆, PSL粒子)
硅晶圆衬底,透明玻璃基板
(可选)
使用检测系统:镭射和检测器
405nm 蓝镭射和光电倍增管
扫描方式
XY,和旋转扫描
上料方法
半自动(手动上料)
设备外形尺寸(长×宽×高)
W548×D572×H962(mm) PC和设备是分开的
设备重量
90kg(不包括P/C的重量)
电源
AC100V 15A

                   ※1 φ300mm的晶圆检测设备,设备的外形尺寸的宽需要加长


バナースペース

株式会社 山梨技术工房

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