AOI外观检测设备／基板表面颗粒检测设备／株式会社 YGK

　　　　　　　　　　　

不仅透明玻璃，还有大型薄膜的表面颗粒检测。
检测部自动聚焦来减少，基板的翘曲而引起误检。

产品规格

产品尺寸

Maximum５００×５００(ｍｍ)

扫描方式

检测部的XY扫描，Z轴自动聚焦

检测时间

500mm正方形检测设备25分钟检测完毕（检测pitch 是0.5mm）

上料方法

半自动

设备尺寸（长×宽×高）

W1,150×D1,100×H1,135（mm）

设备重量

约５００ｋｇ

功率

约１.５ｋＷ（１００Ｖ）

最小检测颗粒

0.5μm／透明材质基板

检测样品材质

透明玻璃基板，镀膜的玻璃基板，薄膜等。另售表离分离功能。