株式会社 YGKは 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

ＹＰＩ－ＭＸ－ＸＹＡ／ＹＰＩ－ＭＸ－ΘＡ
ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置 YPI-MXシリーズ（自動搬送）
透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。

装置仕様

対応基板サイズ

最大２００ｍｍ×２００ｍｍ
（２００ｍｍ以上をご希望の場合はご相談ください）

スキャン方式

Ｘ－Ｙスキャン／Θ－Ｘスキャン（螺旋スキャン）

スループット

□２００ｍｍ（Ｘ－Ｙ）約４分
Φ２００ｍｍ（Θ）　　２分以内
Φ１５０ｍｍ（Θ）　　１.５分以内
Φ１００ｍｍ（Θ）　　１分以内

ワーク設置

搬送ロボット（裏面吸着／エッジクランプ）

装置外形寸法

Ｗ１,５３０ｍｍ×Ｄ１,３００ｍｍ×Ｈ１,９０３ｍｍ

本体重量

約１,０００ｋｇ

消費電力

約２.０ｋＷ（１００Ｖ）

検査対象基板

Ｓｉウェーハ、透明ガラス基板、サファイア基板、ＬＴウェーハ、ＳｉＣ等

最小検出感度

透明ガラス基板　　０.２μｍ
Ｓｉウェーハ　　　０.１μｍ