株式会社 YGKは 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

顕微鏡目視検査の自動化に最適。
ウェーハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。

一度に二つの面を検査できますので、透明基板の場合、表面と裏面、表面と内部を同時に検査でき、検査結果の　切り分けも可能です。

装置仕様

対応基板サイズ

最大２００ｍｍ×２００ｍｍ

スループット

約１分３０秒　□１００ｍｍ（３μｍ検出）

ワーク設置

マニュアル　バキューム吸着

装置外形寸法

Ｗ８００ｍｍ×Ｄ８００ｍｍ×Ｈ１,７１０ｍｍ

最高分解能

０.８７μｍ

検査対象基板

ウェーハ、ガラス・各種基板。ノンパターンもしくは同一パターン
（グリッド、ピンホール）

レビュー機能

有