透明ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX（セミオート）
透明・不透明ウエハ両方測定
豊富なオプションで高感度測定に対応可能です。
製品仕様
| 型式 | YPI-MX |
|---|---|
| 搬送タイプ | マニュアル搬送（セミオート） |
| 外観寸法 | (W)1000 x (D)1000 x (H)1810mm |
| 用力（電源） | AC200V |
| 用力（真空） | -70kPa（ウエハ吸着） -40kPa（排気） |
| 対応ウエハ | シリコン、透明ウエハ（ガラス、LT/LN、石英、サファイア等） |
| ウエハサイズ | 2～8インチ 測定ホルダの段取替えが必要です。 |