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ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX(セミオート)
豊富なオプションを揃えたセミオート機
洗浄確認に最適です。
製品仕様
型式
YPI-MX
搬送タイプ
マニュアル搬送(セミオート)
外観寸法
(W)1000 x (D)1000 x (H)1810mm
用力(電源)
AC200V
用力(真空: 2系統)
-70kPa(ウエハ吸着)
-40kPa(排気)
対応ウエハ
シリコン、膜付ウエハ、GaAs、InP
ウエハサイズ
2~8インチ
測定ホルダの段取替えが必要です。
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