透明ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX FOUP

製品仕様

型式	YPI-MX FOUP
搬送タイプ	自動搬送
外観寸法	(W)2145 x (D)1340 x (H)1860mm
用力（電源）	AC200V
用力（真空）	-70kPa（ウエハ吸着） -40kPa（排気）
用力  (圧空)	0.6MPa（FOUP用）
対応ウエハ	シリコン、透明ウエハ
ウエハサイズ	12インチ その他搬送サイズはご相談ください。