ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX FOUP

製品仕様

型式	YPI-MX FOUP
搬送タイプ	自動搬送
外観寸法	(W)2145 x (D)1340 x (H)1860mm
用力（電源）	AC200V
用力（真空: 2系統）	-70kPa（ウエハ吸着) -40kPa（排気）
用力（圧空）	0.6MPa（FOUP用）
対応ウエハ	シリコン、膜付ウエハ
ウエハサイズ	12インチ

※ その他搬送サイズはご相談ください。