SiC/GaNウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX-DC（セミオート）
SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置
SiCウエハでの高感度測定に。
研究開発や洗浄確認に最適です。
製品仕様
| 型式 | YPI-MX-DC |
|---|---|
| 搬送タイプ | マニュアル搬送（セミオート） |
| 外観寸法 | (W)1000 x (D)1000 x (H)1810mm |
| 用力（電源） | AC200V |
| 用力（真空） | -70kPa（ウエハ吸着） -40kPa（排気） |
| 用力（圧空） | 0.3MPa |
| 対応ウエハ | シリコン、SiC、GaN |
| ウエハサイズ | 2～8インチ |