ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX

製品仕様

型式	YPI-MX
搬送タイプ	自動搬送
外観寸法	(W)1480 x (D)1220 x (H)1810mm
用力（電源）	AC200V
用力（真空: 2系統）	-70kPa -40kPa
対応ウエハ	シリコン、膜付ウエハ、GaAs、InP
ウエハサイズ	2～8インチ

※ 搬送サイズはご相談ください。