ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MN（セミオート）
開発拠点に最適なシンプル装置
洗浄確認、クリーン環境確認に最適です。
製品仕様
| 型式 | YPI-MN |
|---|---|
| 搬送タイプ | マニュアル搬送タイプ（セミオート） |
| 外観寸法 | (W)548 x (D)672 x (H)1009mm |
| 外観寸法 [設置台付] | (W)740 x (D)780 x (H)1430mm |
| 用力（電源） | AC100V |
| 用力（真空） | -70kPa（ウエハ吸着) |
| 対応ウエハ | シリコン、膜付ウエハ、GaAs、InP |
| ウエハサイズ | 2～8インチ 測定ホルダの段取替えが必要です。 |