ガラス基板研磨確認検査装置
XGS

ガラス基板研磨確認検査装置 XGS

ガラス基板の研磨確認用検査装置
研磨出来栄えを比較検査で確認できます

製品仕様

型式XGS
搬送タイプマニュアル搬送（セミオート）
自動搬送
外観寸法マニュアル搬送
(W)1150 x (D)1150 x (H)1920mm
自動搬送
用力（電源）AC200V
用力（真空）-70kPa
-40kPa
用力  (圧空)0.3MPa
ウエハサイズ４・６・8インチ

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XGS