ウエハ評価・デモ環境

クリーンクラス10,000のクリーンルームに、クラス100のクリーンブースを設置しています。

デモ装置はクリーンブース内に置かれ、お客様サンプルウエハはクリーンブース内で開封。
クリーン状態を保持し、デモ・サンプル測定評価を行えます。