株式会社 YGKは 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

ＹＰＩ−N−ＸＹＡ／ＹＰＩ−N−ΘＡ
ウェーハ表面検査装置 YPI-Nシリーズ（自動搬送）
鏡面基板（シリコンウェーハ等）の表面異物を高速にスキャン。
小型基板（２インチ、３インチ）から８インチウェーハまで幅広く測定可能です。

装置仕様

対応基板サイズ

最大２００ｍｍ×２００ｍｍ
（２００ｍｍ以上をご希望の場合はご相談ください）

スキャン方式

Ｘ−Ｙスキャン／Θ−Ｘスキャン（螺旋スキャン）

スループット

□２００ｍｍを約４分／Φ２００ｍｍを約３分（高速スキャン対応可能）

ワーク設置

搬送ロボット（裏面吸着／エッジクランプ）

装置外形寸法

Ｗ１,３２０ｍｍ×Ｄ１,０００ｍｍ×Ｈ１,７００ｍｍ

本体重量

約８００ｋｇ

消費電力

約１.５ｋＷ（１００Ｖ）

検査対象基板

Ｓｉウェーハ、各種膜付きウェーハ

最小検出感度

Ｓｉウェーハ時、０.１μｍ