株式会社 YGKは 先進技術と人を結ぶ創造企業を目指しています。

　　　　　　　　　　　

大型ガラス基板検査装置。
透明ガラス基板からフィルムシートの各種大型基板の表面異物検査が可能。
センサ自動焦点機構で、基板中央のタワミに対応。

装置仕様

ワークサイズ

最５００×５００(ｍｍ)

スキャン方式

センサをＸ−ＹーＺスキャン

スループット

□５００ｍｍを約２５分（０.５ｍｍレーザスキャン時）

ワーク供給方法

マニュアル

装置サイズ(幅×奥行×高さ)

Ｗ１,１５０×Ｄ１,１００×Ｈ１,１３５(ｍｍ)

装置重量

約５００ｋｇ

消費電力

約１.５ｋＷ（１００Ｖ）

最小検出感度

０.５μｍ／透明ガラス基板

検査対象基板

透明ガラス基板、各種膜付きガラス基板、フィルムシート等
オプションで表裏分離センサを搭載可能