AOI外观检测设备／基板表面颗粒检测设备／株式会社 YGK

ＹＰＩ－ＭＸ－ＸＹ／ＹＰＩ－ＭＸ－Θ
透明玻璃素材・蓝宝石衬底表面颗粒检测设备。
透明玻璃基板专用表面颗粒检测设备， 单抛片也可以检测。
YPI-MX设备有自动聚焦功能，也有高精度表离分离功能。

设备规格

对应基板尺寸

最大２００ｍｍ×２００ｍｍ
（如果有需要200mm以上的wafer检测，请联系我们）

扫描方式

XY扫描， 旋转扫描

检测时间

□２００ｍｍ（Ｘ－Ｙ）　约4分
Φ２００ｍｍ（Θ）　　 　2分以内
Φ１５０ｍｍ（Θ）　　 　1.5分以内
Φ１００ｍｍ（Θ）　　 　1分以内

上料方法

机器手臂 （背面真空吸附）

设备外形尺寸

Ｗ９００ｍｍ×Ｄ１,０００ｍｍ×Ｈ１,７５７ｍｍ

设备重量

约 ８００ｋｇ

功率

约 ２.０ｋＷ（１００Ｖ）

检测样品对象

Si晶圆衬底，透明基板，蓝宝石衬底，LT基板，SiC等

最小检测颗粒

透明玻璃　　　　 ０.２μｍ
硅晶圆衬底　　　０.１μｍ