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AOI外观检测设备/基板表面颗粒检测设备/株式会社 YGK
YGK
TEL.
+81-55-284-6866
〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2
YPI-MX
系列
(
全自动
)
YPI-MX-XYA/YPI-MX-ΘA
透明素材基板/
蓝宝石衬底表面颗粒检测设备
。
透明玻璃基板
专用表面颗粒检测设备, 单抛片也可以检测。
YPI-MX
设备有
自动聚焦功能,也有高精度表离分离功能。
设备规格
对应产品尺寸
最大
200mm×200mm
(
如果有需要
200mm
以上的
wafer
检测,请联系我们
)
扫描方式
XY
扫描, 旋转扫描
检测时间
□200mm(X-Y)
约
4
分
Φ200mm(Θ)
2
分以内
Φ150mm(Θ)
1.5
分以内
Φ100mm(Θ)
1
分以内
上料方法
机器手臂
(
背面
边缘
真空吸附
)
设备外形尺寸
W1,530mm×D1,300mm×H1,903mm
设备重量
约
1,000kg
功率
约
2.0kW(100V)
检测样品材质
Si
晶圆
衬底
,透明基板,
蓝宝石衬底,
LT
基板,
SiC
等
最小
检测颗粒
透明玻璃
0.2μm
硅
晶圆衬底
0.1μm
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山梨県南アルプス市曲輪田
595-2
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