AOI外观检测设备／基板表面颗粒检测设备／株式会社 YGK

最适合代替目测的自动化设备。

晶圆・基板的表面缺陷以及颗粒的高速检测。 同时检测透明素材的表面和背面的缺陷， 检测结果也可以分表面和背面显示。

设备规格

检测对象尺寸

max ２００ｍｍ×２００ｍｍ

检测时间

100mm正方形 1分钟30秒内检测完毕
（33μm的分解能）

上料方法

半自动（手动上料） 基板固定模式：背面边缘真空吸附

设备外形尺寸

Ｗ８００ｍｍ×Ｄ８００ｍｍ×Ｈ１,７１０ｍｍ

最小检测颗粒

０.８７μｍ

检测对象素材

晶圆，玻璃，各种素材晶圆，无图案或者单一图盘
（格子图案， 圆图案）

预览功能

有