SiC/GaNウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MX-DC
SiCウエハ量産ライン用パーティクル検査装置
SiCウエハでの高感度測定に。
プロセスモニターや洗浄確認に最適です。
製品仕様
| 型式 | YPI-MX-DC |
|---|---|
| 搬送タイプ | 自動搬送 |
| 外観寸法 | (W)1480 x (D)1220 x (H)1810mm |
| 用力（電源） | AC200V |
| 用力（真空） | -70kPa -40kPa |
| 用力 (圧空) | 0.3MPa |
| 対応ウエハ | シリコン、SiC、GaN |
| ウエハサイズ | 2～8インチ ウエハサイズはご相談ください。 |