透明ウエハ表面パーティクルスキャナ
YPI-MN（セミオート）

製品仕様

型式	YPI-MN
搬送タイプ	マニュアル搬送（セミオート）
外観寸法	(W)548 x (D)672 x (H)1009mm
外観寸法 (設置台付）	(W)740 x (D)780 x (H)1430mm
用力（電源）	AC100V（3Mコンセント付）
用力（真空）	-70kPa
対応ウエハ	シリコン、透明ウエハ（ガラス、LT/LN、石英、サファイア等）
ウエハサイズ	2～8インチ 測定ホルダの段取替えが必要です。