外観検査装置／ウェーハ表面検査装置／株式会社 YGK

TOPICS

• シリコンウェーハ等のウェーハ表面検査装置の製造、販売。
• ガラス基板表面検査装置、サファイヤ表面検査装置、ＬＴウェーハ表面検査装置の製造、販売。
• ＳｉＣ／ＧａＮ関連、ウェーハ表面検査装置の製造、販売。
• フィルムシート等特殊サンプル用ウェーハ表面検査装置の製造、販売。
• レティクル／ペリクル用異物検査装置ＹＰＩシリーズの製造、販売。
• 特に透明ガラス基板においては 表／裏を判別する表裏分離センサを装備することで 表／裏を分離して測定し精度の高い測定を実現。
• その他 製造装置、検査装置の製造販売、個別ファームウェア開発／ソフトウェア開発／機械設計／回路設計等。
• 静電気関連、イオナイザーの製造販売。（イオナイザーの詳細はこちら）
• 多点、装置内洗浄度クリーン測定：パーティクルモニターの製造販売（パーティクルモニターの詳細はこちら）

NEWS新着情報

2024年4月1日

創業30年の節目となる2024年4月1日より
社名を「株式会社 山梨技術工房」から「株式会社 YGK」へ変更しました。

2022年9月10日

産学連携プロジェクトにより
パワー半導体向けSiCウエハー全面の加工歪み検査技術を共同開発
〜高速可視化技術によりSiCウエハーの高品質化に貢献〜

2021年9月1日

ホームページアドレスを変更しました。

2019年9月27日

YPIシリーズオプションを追加しました。⇒　

2018年6月1日

ミニマルハーフインチウェーハ 表面パーティクル検査装置の製品紹介を追加しました。⇒　

2017年12月18日

ＳＥＭＩＣＯＮ Ｊａｐａｎ ２０１7に出展しました。⇒　

2017年9月1日

弊社ホームページへのアクセス、誠にありがとうございます。
ＹＰＩシリーズ発売１５周年に新しいモデルをリリース致します。
その記念セールとして、２０１８年３月までに新モデル発注及び納入のお客様に限り特別価格を適用させて頂きます。
この機会に是非、弊社ウェーハパーティクルスキャナをご検討ください。

※ 現在は終了しました。

2017年7月24日

英語版ホームページをリニューアルしました。

2017年4月12日

プローバ装置の製品紹介を追加しました。⇒　

2017年3月28日

ローダ・アンローダ装置の製品紹介を追加しました。⇒　

2016年12月16日

ＳＥＭＩＣＯＮ Ｊａｐａｎ ２０１６に出展しました。⇒　

2016年11月15日

ＹＰＩ−ＭＸ-ＤＣの製品紹介にＬＴウェーハ測定結果例を追加しました。
（詳細はこちら）

　

2016年7月8日

ＤＦ-１００（小型・高機能光学式外観検査装置 ）の製品紹介を追加しました。（詳細はこちら）

　

2016年6月3日

パーティクルモニターの製品紹介を追加しました。
（パーティクルモニターの詳細はこちら）

2015年12月18日

ＳＥＭＩＣＯＮ Ｊａｐａｎ ２０１５に出展しました。⇒　

2015年 5月15日

ＹＰＩシリーズにオプション新機能を追加しました。

2015年 7月 3日

ＤＦ-１００（小型・高機能光学式外観検査装置 ）の製品紹介を追加しました。

2015年 7月 3日

サイトをリニューアルしました。